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지멘스 공정

순수 실리콘을 증착하는 지멘스 공정의 공정 온도는 고온계로 측정할 수 있습니다.

 

산업 솔루션 안내서 - 크리스탈 성장 - 지멘스 프로세스

장점:
  • 광섬유가 전자 장치와 측정 헤드를 분리
  • 고해상도 광학 장치를 통해 공정 시작 시 얇은 실리콘 막대의 온도 측정이 가능합니다.

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