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RTP (Rapid Thermal Processing)

웨이퍼의 고속 열처리는 반도체 재료와 방사원에 맞춰진 고온계로 온도를 측정해야 합니다.

 

산업 솔루션 안내서 - 반도체 생산 - RTP(급속열처리)

장점:
  • 웨이퍼 반도체 재료 측정을 위한 특수 파장 범위
  • 저온 측정을 위한 강력한 광학 장치

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