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반도체 제조
공정 온도는 반도체 제조에 있어 결정적인 요소입니다.
웨이퍼 가공 시 결함을 방지하기 위해 특정 온도 범위를 준수해야 합니다.
MBE (Molecular Beam Epitaxy)
PLD(펄스 레이저 증착)
RTP(급속열처리)
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